自動三坐標測量儀（英文CNC）三坐標的一種，CNC式三坐標測量儀除了具有馬達驅動式的功能之外，還可自動依照計算機所預先設定的程序執行測量，甚至有些廠商出品的三坐標測量儀，也提供了自動裝拆工件。CNC式三坐標測量儀除提供尺寸測量(點到點的測量)外，也可作曲面的輪廓測量(點到點的測量及掃瞄測量)。
自動三坐標測量儀的操作流程
一、工作前的準備
檢查溫度情況，包括測量機房，測量機和零件：連續恒溫的機房只要恒溫可靠，能達到測量機要求的溫度范圍，則主要解決零件恒溫（按規定時間提前放入測量機房）。
檢查氣源壓力，放出過濾器中的油和水，清潔測量機導軌及工作臺表面。
開機運行一段時間，并檢查軟件、控制系統、測量機主機各部分工作是否正常。
二、檢測工作中
查看零件圖紙，了解測量要求和方法，規劃檢測方案或調出檢測程序。
吊裝放置被測零件過程，要注意遵守吊車安全的操作規程，保護不損壞測量機和零件，零件安放在方便檢測，阿貝誤差小的位置并固定牢固。
按照測量方案安裝探針及探針附件，要按下緊急停再進行，并注意輕拿輕放，用力適當，更換后試運行時要注意試驗一下測頭保護功能是否正常。
實施測量過程中，操作人員要精力集中，*運行程序時要注意減速運行，確定編程無誤后再使用正常速度。
一旦有不正常的情況，應立即按緊急停，保護現場，查找出原因后，再繼續運行或通知維修人員維修。
檢測完成后，將測量程序和程序運行參數及測頭配置等說明存檔。
拆卸（更換）零件，清潔臺面。
三、關機及整理工作
將測量機退至原位（注意，每次檢測完后均需退回原位），卸下零件，按順序關閉測量機及有關電源。
清理工作現場，并為第二天工作做好準備。
